ASML-Holding - ASML Holding

ASML Holding NV
Typ Naamloze Vennootschap
Industrie Halbleiterindustrie
Gegründet 1984 ; Vor 37 Jahren ( 1984 )
Hauptquartier Veldhoven , Niederlande
Schlüsselpersonen
 Peter Wennink ( CEO ) , Gerard Kleisterlee ( Vorsitzender des Aufsichtsrats )
Produkte Photolithographie - Systeme für die Halbleiterindustrie
Einnahmen 13,98 Mrd. € (2020)
3,554 Mrd. € (2020)
Bilanzsumme 27,267 Mrd. € (2020)
Gesamtkapital 13,865 Mrd. € (2020)
Anzahl der Angestellten
 >28.000 (2021) , >120 Nationalitäten
Webseite www .asml .com
Fußnoten / Referenzen
>12.000 Patente (2019)

ASML Holding NV (ursprünglich für "Advanced Semiconductor Materials Lithography"; allgemein abgekürzt ASML ) ist ein 1984 gegründetes niederländisches multinationales Unternehmen, das sich auf die Entwicklung und Herstellung von Fotolithografiesystemen spezialisiert hat. Derzeit ist es der größte Anbieter von Fotolithografiesystemen hauptsächlich für die Halbleiterindustrie und der einzige Anbieter von Fotolithografiemaschinen für die extreme Ultraviolett-Lithografie (EUV) weltweit. ASML beschäftigt mehr als 128.000 Mitarbeiter aus 120 Nationalitäten und stützt sich auf ein riesiges Netzwerk von mehr als 5.000 Lieferanten und hat Niederlassungen in den Vereinigten Staaten, Belgien, Frankreich, Deutschland, Irland, Israel, Italien, den Niederlanden, dem Vereinigten Königreich, dem chinesischen Festland, Hongkong, Japan, Malaysia, Singapur, Südkorea und Taiwan.

Produkte

Die von ASML hergestellten Fotolithografiemaschinen werden bei der Herstellung von Computerchips verwendet. In diesen Maschinen werden Muster optisch auf einen Silizium abzubildenden Wafer , die mit einem Film aus lichtempfindlichem Material (bedeckt Photolack ). Dieser Vorgang wird auf einem einzelnen Wafer Dutzende Male wiederholt. Der Fotolack wird dann weiterverarbeitet, um die eigentlichen elektronischen Schaltkreise auf dem Silizium zu erzeugen. Die optische Bildgebung, mit der sich die Maschinen von ASML befassen, wird bei der Herstellung fast aller integrierten Schaltkreise verwendet, und seit 2010 hat ASML 67 Prozent des weltweiten Absatzes von Lithographiegeräten, wobei die Konkurrenz aus Ultratech , Canon und Nikon besteht .

Immersionslithographie

Die Immersionslithographie wurde von Burn-Jeng Lin entwickelt und ASML arbeitete seitdem mit TSMC zusammen. TSMC begann 2004 mit der kommerziellen Produktion von 90-Nanometer- Halbleiterknoten mit ASML-Immersionslithographie. Ab 2011 wird das High-End-System TWINSCAN NXT:1950i für die Herstellung von Strukturen bis zu 32 Nanometer (und Aussicht auf 22 nm) auf bis zu 200 Wafern verwendet pro Stunde, mit einer Wasserimmersionslinse und einem Argonfluorid-Laser , der Licht mit einer Wellenlänge von 193 nm erzeugt. Im Jahr 2011 kostete eine durchschnittliche Lithografiemaschine 27 Millionen Euro.

Der unermüdliche Wettlauf, die Strukturgröße der elektronischen Schaltungen auf den Siliziumwafern zu reduzieren und somit mehr Elektronik pro Flächeneinheit zu packen, erfordert Lichtquellen immer kürzerer Wellenlängen in der entscheidenden Projektionsphotolithographie, die damit verbunden ist. ASML hat jetzt extreme UV-Lichtquellen (2021) mit einer Strukturgröße von 5 nm (50 Angström) entwickelt. Sie sind das einzige Unternehmen weltweit, das diese extremen UV-Belichtungssysteme liefern kann, und der einzige Lieferant für praktisch jeden großen Hersteller integrierter Schaltungen.

EUV-Lithographie

ASML stellt Extrem-Ultraviolett-Lithographiemaschinen her, die Licht im Wellenlängenbereich von 13,3 bis 13,7 nm erzeugen . Ein hochenergetischer Laser wird auf mikroskopisch kleine Tröpfchen aus geschmolzenem Zinn fokussiert , um ein Plasma zu erzeugen , das EUV-Licht emittiert.

2009 produzierte das IMEC- Forschungszentrum in Belgien die weltweit ersten funktionsfähigen 22-nm- CMOS- SRAM- Speicherzellen mit einem Prototyp einer EUV-Lithographiemaschine. Serienmäßig hergestellte (Nicht-Prototyp-) EUV-Maschinen wurden 2011 ausgeliefert.

Sonstiges

Neben immersionsbasierter Lithografie und EUV-Lithografie verfügt ASML über ein umfangreiches Portfolio an geistigem Eigentum , das die Imprint-Lithografie umfasst .

Gesellschaft

Der Firmensitz von ASML befindet sich in Veldhoven , Niederlande . Es ist auch Standort für Forschung, Entwicklung, Fertigung und Montage. ASML hat einen weltweiten Kundenstamm und über sechzig Servicestellen in sechzehn Ländern. Das Unternehmen ist als ASML sowohl an der AEX als auch an der NASDAQ notiert. Es ist auch Bestandteil des Euro Stoxx 50 und NASDAQ-100 .

Das Unternehmen (ursprünglich ASM Lithography, heutiger Name ASML, was ein offizieller Name und keine Abkürzung ist) wurde 1984 als Joint Venture zwischen den niederländischen Unternehmen Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) und Philips gegründet . Heute ist es eine Aktiengesellschaft mit nur einer Minderheit der Aktien von Philips. Als das Unternehmen 1988 unabhängig wurde, wurde entschieden, dass eine Namensänderung nicht wünschenswert war, und die Abkürzung ASML wurde zum offiziellen Firmennamen.

Im Jahr 2000 erwarb ASML die Silicon Valley Group (SVG), einen US-amerikanischen Hersteller von Lithografiegeräten, um 193 nm-Scanner an Intel Corp. zu liefern .

ASML unterliegt einer zyklischen industriellen Dynamik . Ende 2008 verzeichnete ASML beispielsweise einen starken Umsatzrückgang, was dazu führte, dass das Management die Belegschaft weltweit um etwa 1000 – hauptsächlich Leiharbeiter – abbaute und Unterstützung bei der niederländischen Arbeitslosenkasse beantragte, um noch größere Entlassungen zu verhindern. Zweieinhalb Jahre später erwartete ASML einen Rekordumsatz.

Im Juli 2012 kündigte Intel eine Vereinbarung an, 4,1 Milliarden US-Dollar in ASML zu investieren, im Austausch für 15 % des Eigentums, um den Übergang von 300-mm- auf 450-mm-Wafer und die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie zu beschleunigen . Diese Transaktion ist ohne exklusive Rechte an zukünftigen ASML-Produkten und ab Juli 2012 bietet ASML weitere 10 % der Anteile an andere Unternehmen an. Als Teil ihrer EUV-Strategie gab ASML im Oktober 2012 die Übernahme des DUV- und EUV- Quellenherstellers Cymer bekannt .

Im November 2013 pausierte ASML die Entwicklung von 450-mm-Lithografiegeräten und verwies auf den unsicheren Zeitpunkt der Nachfrage der Chiphersteller.

2015 erlitt ASML einen Diebstahl geistigen Eigentums. Mehrere Mitarbeiter waren beim Diebstahl vertraulicher Daten ihrer Softwaretochter im Silicon Valley aufgedeckt worden, die Software zur Maschinenoptimierung entwickelt.

Im Juni 2016 gab ASML ihre Pläne bekannt, Hermes Microvision Inc. mit Sitz in Taiwan für etwa 3,1 Milliarden US-Dollar zu übernehmen, um Technologie zur Herstellung kleinerer und fortschrittlicherer Halbleiter hinzuzufügen .

Im November 2020 gab ASML bekannt, dass es den deutschen Optikglashersteller Berliner Glas Group übernommen hat, um den steigenden Bedarf an Komponenten für seine EUV-Systeme zu decken.

Nach der Gewinnmeldung im Juli 2021 gab das Unternehmen bekannt, dass es nahezu ein Monopol für Maschinen habe, die von Taiwan Semiconductor Manufacturing und Samsung Electronics zur Herstellung der fortschrittlichen Chips verwendet werden. Die Elektronikhersteller verwenden extreme Ultraviolett-Lithographiegeräte , um Siliziumchips mit atomarer Präzision leistungsstärker zu machen.

Verweise

Externe Links